行业难点
1. 超纯水电阻率控制
半导体制造对产水电阻率要求极高，需长期稳定在规定水平。
2. 微粒控制
微粒会直接造成晶圆缺陷，需在全流程控制颗粒引入。
3. 有机物控制
TOC 指标需持续受控，避免有机物残留影响工艺。
我们的方案
| 难点 | 应对 |
|---|---|
| 电阻率控制 | 纯水设备以反渗透 + EDI 深度除盐为核心，产水电阻率按工艺需求稳定控制，系统内置水质在线监测与自动调节 |
| 微粒与有机物 | 多级过滤与膜分离组合工艺，运行参数、水质数据实时上传平台，波动实时可视 |
| 长期稳定 | 设备支持自动启停与自动冲洗，年度 AI 分析报告出具设备健康度与技改建议 |